左手系および右手系のナノ構造を作成するための簡単なエッチング技術

- Mar 08, 2017 -

シンガポル科学技術研究院(A * STAR)のシンガポルの研究者たちは、世界最小サイズのねじだけの構造を製作しています。


チムは、10マイクロメトルの銀ナノワイヤ、直径80ナノメトル、5面を作成しました。 構造体をシリコン基板に貼り付け、80℃のエチレングリコル中の窒化銀溶液に20分間入れた。 次いで、サンプルをすすぎ洗いし、このプロセスを5回繰り返した。

A * STARのシンガポル製造技術研究所のJun Wei氏とA * STAR材料研究工学研究所、Nanyang Technological University、中国のNanjing Tech Universityの共同研究者らは、 技術を使って真直ぐなナノワイヤスクリュに入れる。

チムは、10マイクロメトルの銀ナノワイヤ、直径80ナノメトル、5面を作成しました。 構造体をシリコン基板に貼り付け、80℃のエチレングリコル中の窒化銀溶液に20分間入れた。 次いで、サンプルをすすぎ洗いし、このプロセスを5回繰り返した。

得られたワイヤを走査型を用いて画像化すると、チムは、ねじ山を想起させる滑らかな隆起部および溝を観察した。 興味深いことに、このような構造は、シングルステップエッチングが使用されたときには明らかではなかった。

エッチングは通常、特定の結晶学的方向に沿って作用し、対称構造につながるので、等価な結晶ファセットを異方性の方法でどのようにエッチングできるかを知りたがっていました。 彼らは、この異常なエッチングモドは、五角形のナノワイヤを構成する5つの結晶学的領域の境界にピットが形成されることから始めると提案している。 これらのピットは、表面エネルギを最小にする傾向によって駆動される角度で合体し、したがって、ナノワイヤの周りにらせん状になる隆起部および溝部を形成する。

「この選択的エッチングは、銀ナノワイヤ上の欠陥箇所のエッチング速度が速いために促進されます」とWei氏は述べています。 したがって、通常の構造を非対称的な構造に変換することができます。

このようなキラルナノ構造は、同様のサイズの直線状ナノワイヤよりもはるかに大きな表面積を有する。 これにより、センシングアプリケションに役立つ可能性があります。 Weは次のように述べています。「センサと透明導電体の製造にナノスクリュを使用したいと考えています。

この研究に貢献したA * STAR関連の研究者は、シンガポル製造技術研究所とマテリアルリサチアンドエンジニアリング研究所からのものです。

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